HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列

簡介

美国 HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列特别适合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤温度不超过 150°C的应用。超长使用寿命1,000,000 启动次数。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵，离子泵等完美联用。

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技术规格

美国 HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列特别适合 1x10^{- 9} mbar 高真空和烘烤温度不超过 150°C的应用。超长使用寿命1,000,000 启动次数。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵，离子泵等完美联用。

HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列产品特点
直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小。HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁，因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易。HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界最小的内部表面区域。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃，1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成，确保了阀门的最大完整性。在保养方面，支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来。阀门手动、气动可选，标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀21200 系列可任意位置安装。电磁阀控制并带有手动超控。

HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列技术参数

阀门材质：
阀门主体	304不锈钢
焊接波纹管轴封	AM-350
驱动轴和驱动销	硬质不绣钢
密封件	氟橡胶
真空：
压力范围	1x10^-9mbar
漏率	< 2x10^-9mbar l/S
差压关闭	1 bar (任意位置)
开启前最大压力	≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）：
佛橡胶密封	150 °c
驱动方式	手动 60 °c;气动 60 °c
使用寿命：1,000,000启闭次数
公称通径：DN16-320 mm

HVA 百万周期真空闸阀 21200 产品部件图

上海伯东美国 HVA真空阀门中国总代理! HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, 美国HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀, 矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中！与友厂真空阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速！