自主: 物理测量方式, 不需要电离等过程
高精度测量: 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %
长期稳定, 不受温度的影响
内置锂电池, 防止因突然断电导致的损坏
方便携带
多种通讯方式, 可以软件连线
真空规一体成型
VIM-2 高精度移动式真空传感器 计量级高精度真空规
簡介
自主: 物理测量方式, 不需要电离等过程
高精度测量: 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %
长期稳定, 不受温度的影响
内置锂电池, 防止因突然断电导致的损坏
方便携带
多种通讯方式, 可以软件连线
真空规一体成型
技术规格
上海伯东代理德国 ph-instruments VIM-2 高精度移动式真空传感器, 采用 SRG 旋转转子量规技术.
在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 长期稳定, 不受温度的影响. ph-instruments VIM-2 真空规内置锂电池, 防止突然断电, 方便携带.
ph-instruments VIM-2 高精度真空传感器技术规格
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测量原理 |
旋转转子压力表 |
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测量范围 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %； |
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长期稳定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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接液材料管/球 |
1.4404, 1.4034 |
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安装方式 |
水平 |
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模拟接口 |
USB Type C、蓝牙、15pin |
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数字接口 |
USB、蓝牙、RS 232、RS 485 |
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远程控制 |
Win 7/10 |
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工作温度 |
电子元件 10 °C 至 40 °C |
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电源要求 |
18 ~28 VDC |
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模拟输出 |
0 - 10 VDC 可配置 |
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法兰类型 |
KF 25, 8 VCR, 焊接 |
ph-instruments VIM-2 高精度真空传感器应用
半导体: 离子注入 (替代离子规), 离子刻蚀 IBE, CVD, PVD, 在不打开真空室的情况下进行故障排除和安全检查
低温真空绝缘: 液化气体存储或者运输, 真空绝缘监测, 所有导电真空绝缘应用
真空计校准系统
应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
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