自主: 物理测量方式, 不需要电离等过程
高精度测量
长期稳定
超清洁
坚固, 耐腐蚀
高真空测量
SRG 磁悬浮转子真空计 Dositorr 高精度耐腐蚀, 替代离子规
技术规格
上海伯东代理德国 ph-instruments Dositorr SRG 高真空传感器是一种基于旋转转子压力表技术的新型过程压力计. 与其他真空测量（热阴极或冷阴极, 电容式压力传感器）相比, Dositorr SRG 旋转转子压力表精度高, 耐腐蚀, 长期稳定, 不影响以任何方式测量的压力信号（无温度输入 / 电离 / 采集 / 漂移等）. 简单的几何形状和不锈钢旋转球, 通过电磁力平滑移动, 适用于各种高纯度气体工艺.
Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计技术规格
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测量原理 |
旋转转子压力表 |
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测量范围 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %; |
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长期稳定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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接液材料管/球 |
不锈钢 |
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安装方式 |
水平 |
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模拟接口 |
USB Type C, 蓝牙, 15pin |
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数字接口 |
USB, 蓝牙, RS 232, RS 485 |
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反应时间（快速模式） |
1 秒 |
上海伯东德国 ph-instruments Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计适用于工艺中的连续, 自动, 高真空测量, 并提供多种灵活的解决方案.
DosiTorr: 传感器, 测量头和电子设备集成在一个紧凑的单元中
CaliTorr: 电子测量头可以与真空规分离用于烘烤
DosiTorr 扩展: 测量头和电子设备分离, 便于在空间受限的设备中安装
DosiTorr 配置: 设计用于 1:1 离子规更换配置电接口(即插即用解决方案)
Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计应用
替代离子规: 传统电离式的真空规无法使用的情况
离子注入, 干法刻蚀
在线真空监测
液氮, 液氦高纯气体存储
应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规
可以替代离子规 MKS 903 AP,MKS GP 390,MKS GP 355,Inficon HPG400,Inficon MPG400 等型号
SRG 旋转转子真空计测量原理
SRG 旋转转子真空计测量原理
Dositorr SRG 高真空传感器离子注入应用
Dositorr SRG 高真空传感器离子注入应用
SRG 旋转转子真空规与离子规对比
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SRG 磁悬浮转子规原理和特点(耐腐蚀,高精度,长期稳定)
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SRG 磁悬浮转子真空计应用于显示面板腔体测量
SRG 磁悬浮转子真空计应用于显示面板腔体测量
SRG 磁悬浮转子真空计应用优势
耐腐蚀和沉积,无灯丝设计,替代传统的离子规 (冷阴极离子规或热阴极离子规)
SRG 磁悬浮转子真空计替代离子规适用于腐蚀和沉积环境
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