上海伯东代理德国 ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计, 基于旋转转子 SRG 技术开发, 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 耐腐蚀抗污染, 长期稳定 . ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计原理简单: 测量管 (内置一个 4.5 mm 滚珠轴承球作为压力传感器), 根据需要安装测量头. 机头通过电磁力与球相互干扰, 无触点测量旋转球在运行过程中的旋转频率变化.
SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量, SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 提高半导体制造, 镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.
ph-instruments Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计优势
自主: 物理测量方式, 不需要电离等过程
高精度测量
长期稳定
超清洁
坚固, 耐腐蚀
高真空测量
Dositorr SRG 旋转转子真空计应用: 在线真空监测
替代离子规: 传统电离式的真空规无法使用的情况
离子注入, 干法刻蚀
低温真空绝热:液氮, 液氦高纯气体存储
高精度真空计校准系统.
主要型号
技术参数
Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计技术规格
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测量原理 |
旋转转子压力表 |
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测量范围 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %; |
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长期稳定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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接液材料管/球 |
不锈钢 |
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安装方式 |
水平 |
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模拟接口 |
USB Type C, 蓝牙, 15pin |
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数字接口 |
USB, 蓝牙, RS 232, RS 485 |
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反应时间（快速模式） |
1 秒 |
上海伯东德国 ph-instruments Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计适用于工艺中的连续, 自动, 高真空测量, 并提供多种灵活的解决方案.
DosiTorr: 传感器, 测量头和电子设备集成在一个紧凑的单元中
CaliTorr: 电子测量头可以与真空规分离用于烘烤
DosiTorr 扩展: 测量头和电子设备分离, 便于在空间受限的设备中安装
DosiTorr 配置: 设计用于 1:1 离子规更换配置电接口(即插即用解决方案)
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